전북대학교 문세연 교수(공대 양자시스템공학) 연구팀이 상압에서 저온의 플라즈마를 이용, 고품질 이산화티타늄(TiO2)을 고속 증착하는 기술을 개발했다.

이산화티타늄은 빛을 흡수해 다른 물질을 산화시키는 광촉매로 살균제, 악취제거, 항균제 뿐 아니라 반도체 및 태양전지 셀 등 코팅물질로 사용한다.

산업적으로는 박막 형태가 널리 이용되고 이를 위해 증착공법을 사용했으나 증착속도와 낮은 품질이 아쉬운 점으로 꼽혔다. 문세연 교수 연구팀은 해결책으로 저온의 상압 플라즈마 기술을 활용했으며, 열린 공간에서 TiO2를 빠르게 증착하는 기술을 개발했다.

해당 기술은 동일 공정 시스템에서 적용된 화학기상증착 대비 2~3배 속도 향상을 보였고, 증착 품질 면에서 더 뛰어나다고 연구팀은 밝혔다.

연구 성과는 네이처를 출판하는 과학저널 <사이언티픽 리포트(Scientific Report)> 11월호에 실렸다./이수화기자‧waterflower20@